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小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4″石英管和真空法蘭,是專(zhuān)為半導體或太陽(yáng)能電池基片(Z大3″)的退火而設計。本機采用10KW紅外燈管加熱,Z快升溫速度為 50℃/s,設有30 段溫度控制,精度為±1℃。此外,通過(guò)RS485口和控制軟件可在計算機上實(shí)現實(shí)時(shí)控制和溫度曲線(xiàn)顯示。
4″高真空RTP爐OTF-1200X-4-RTP-HV 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4″石英管及高真空系統(機械泵+分子泵), 是專(zhuān)為半導體或太陽(yáng)能電池基片(Z大3″)的退火而設計。本機采用10KW紅外燈管加熱,Z快升溫速度為50℃/s,設有30 段溫度控制,精度為±1℃。此外,通過(guò)RS485口和控制軟件可在計算機上實(shí)現實(shí)時(shí)控制和溫度曲線(xiàn)顯示。
可滑動(dòng)RTP爐OTF-1200X-4-RTP-SL是一種快速熱處理爐,采用紅外燈加熱和移動(dòng)爐體快速冷卻,可獲得Z高升溫速率為100°C/s 、降溫速率為5°C/s。
雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS是特殊的雙管CVD系統,是專(zhuān)為在金屬箔上生長(cháng)薄膜而設計的,特別適用于新一代能源——柔性金屬箔電極方面的研究。本機可通過(guò)滑動(dòng)爐體,實(shí)現快速加熱和冷卻。