PCE-66紫外臭氧清洗機（帶攪拌機構）是一款小型紫外臭氧清洗機，可用于清洗各種單晶基片，以保證更好的成膜質(zhì)量。同時(shí)也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。內置加熱管，可加熱基片，加熱溫度上限150℃，PID方式控溫，可設置30段升降溫程序。帶有攪拌功能，用作氧化物包括干法電極電池正極材料的表面處理。

PCE-66紫外臭氧清洗機是一款小型紫外臭氧清洗機，可用于清洗各種單晶基片，以保證更好的成膜質(zhì)量。同時(shí)也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。內置加熱管，可加熱基片，最高加熱溫度150℃，PID方式控溫，可設置30段升降溫程序。

PCE-22紫外臭氧清洗機提供了一種無(wú)酸、干燥對材料無(wú)損傷的原子級別的清洗手段，特別適合清除一些有機化合物。

PCE-22-LD紫外臭氧清洗機采用不需要任何溶劑的干式清洗技術(shù)，對清洗表面沒(méi)有損傷。采用大功率低壓石英汞燈，產(chǎn)生波長(cháng)185nm和254nm的紫外線(xiàn)，185nm的光可以將氧分子O2轉變成活性的臭氧分子O3，254nm的光同時(shí)激發(fā)清洗表面的有機分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時(shí)間短，且同時(shí)也被254nm的光分解，因此可調節樣品臺到燈管的距離來(lái)優(yōu)化性能。