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VTC-200-CE半柜式清洗機采用直線(xiàn)導軌控制柱狀液流沿 wafer.半徑方向來(lái)回掃動(dòng),同時(shí)配備有去離子水淸洗和氮氣吹干功能,采用高精度伺服電機控制 wafer的旋轉,由七寸全彩觸屏進(jìn)行操作,全不銹鋼機柜,耐魔蝕透明觀(guān)察蓋,絲桿直線(xiàn)導軌,不銹鋼內腔,設計合理,經(jīng)久耐用。伺服馬達控制旋轉速度和時(shí)間,自動(dòng)控制顯影、清洗和吹干,顯影/清洗均勻性和重復性好。