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實(shí)驗室分析設備
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EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理,結合*的頻率測量技術(shù),進(jìn)行膜厚的在線(xiàn)監測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設備的薄膜制備過(guò)程中,用于對膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監測。
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