產(chǎn)品中心
當前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > DIY > 濺射鍍膜類(lèi) > RF-300I-LD 300W小型自動(dòng)匹配型射頻電源
簡(jiǎn)要描述:300W小型自動(dòng)匹配型射頻電源RF-300I-LD將自動(dòng)匹配器和13.56MHz的射頻電源集成在一起,可以自動(dòng)匹配容抗和感抗,使得安裝和操作更加方便容易。配用本司的磁控濺射頭可自行搭建磁控濺射鍍膜儀。
產(chǎn)品分類(lèi)CLASSIFICATION
相關(guān)文章ARTICLES
詳細介紹
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
---|
RF-300I-LD 300W小型自動(dòng)匹配型射頻發(fā)生器主要適用于我公司制造的VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀和VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀。該射頻發(fā)生器在工作時(shí)將自動(dòng)匹配器和13.56MHz的射頻電源集成在一起,可以自動(dòng)匹配容抗和感抗,使得安裝和操作更加方便容易;輸入功率可根據需要自行進(jìn)行調整,調整范圍在5W-300W;冷卻過(guò)程采用空氣冷卻,無(wú)需采用其它冷卻設備,節約了設計成;噪音極低,對環(huán)境幾乎無(wú)污染。該發(fā)生器配用本司的磁控濺射頭可自行搭建磁控濺射鍍膜儀對樣品進(jìn)行鍍膜操作。
產(chǎn)品型號 | 300W小型自動(dòng)匹配型射頻電源RF-300I-LD |
技術(shù)參數 | 1、電源:AC 110V-240V 50Hz/60Hz 2、輸入功率:5W-300W(可調),穩定性±1% 3、射頻頻率:13.56MHz,穩定性±0.005% 4、匹配:自動(dòng)匹配,空氣電容 5、冷卻:空氣冷卻 6、噪音:<50dB |
產(chǎn)品規格 | 尺寸:480mm×400mm×140mm
|
可選配件 | 1、2"高真空磁控濺射頭,可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。
2、同時(shí)購買(mǎi)300W射頻發(fā)射器和2"磁控濺射頭時(shí),本司贈送1個(gè)高真空快速接頭。接頭內徑為0.75",可將濺射 頭安裝在真空腔體上,真空腔體上的安裝孔直徑為1",真空腔體的壁厚不得大于1"。
3、循環(huán)水冷機,流量為16L/min,水箱容積為6L。 |
產(chǎn)品咨詢(xún)