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RF-300I-LD 300W小型自動(dòng)匹配型射頻電源

簡(jiǎn)要描述:300W小型自動(dòng)匹配型射頻電源RF-300I-LD將自動(dòng)匹配器和13.56MHz的射頻電源集成在一起,可以自動(dòng)匹配容抗和感抗,使得安裝和操作更加方便容易。配用本司的磁控濺射頭可自行搭建磁控濺射鍍膜儀。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2018-11-05
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1167

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詳細介紹

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       RF-300I-LD 300W小型自動(dòng)匹配型射頻發(fā)生器主要適用于我公司制造的VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀和VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀。該射頻發(fā)生器在工作時(shí)將自動(dòng)匹配器和13.56MHz的射頻電源集成在一起,可以自動(dòng)匹配容抗和感抗,使得安裝和操作更加方便容易;輸入功率可根據需要自行進(jìn)行調整,調整范圍在5W-300W;冷卻過(guò)程采用空氣冷卻,無(wú)需采用其它冷卻設備,節約了設計成;噪音極低,對環(huán)境幾乎無(wú)污染。該發(fā)生器配用本司的磁控濺射頭可自行搭建磁控濺射鍍膜儀對樣品進(jìn)行鍍膜操作。

產(chǎn)品型號

  300W小型自動(dòng)匹配型射頻電源RF-300I-LD

 

技術(shù)參數

  1、電源:AC 110V-240V 50Hz/60Hz

  2、輸入功率:5W-300W(可調),穩定性±1%        

  3、射頻頻率:13.56MHz,穩定性±0.005%

  4、匹配:自動(dòng)匹配,空氣電容

  5、冷卻:空氣冷卻

  6、噪音:<50dB

產(chǎn)品規格

  尺寸:480mm×400mm×140mm

 

可選配件

  1、2"高真空磁控濺射頭,可自行搭建RFDC濺射鍍膜儀。

          

  2、同時(shí)購買(mǎi)300W射頻發(fā)射器和2"磁控濺射頭時(shí),本司贈送1個(gè)高真空快速接頭。接頭內徑為0.75",可將濺射

  頭安裝在真空腔體上,真空腔體上的安裝孔直徑為1",真空腔體的壁厚不得大于1"。

        

  3、循環(huán)水冷機,流量為16L/min,水箱容積為6L。

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