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1100℃多工位管式爐GSL-1100X-S是小口徑管式爐,專(zhuān)為制備小型樣品而設計Z高溫度可達1100℃。爐體可垂直或水平放置,以滿(mǎn)足不同的應用,如樣品加熱、VSL、CVD 、淬火試驗等。
1100℃帶校準系統管式爐GSL-1100X-50-LVT是分體式真空管式爐,配有 OMEGA 測溫儀及K 型熱電偶一套,將K型熱偶從左端法蘭安裝于爐管內部,即可在OMEGA測溫儀上讀取樣品實(shí)時(shí)溫度。采用30段可編程溫度控制儀,可根據實(shí)驗要求設置所需要的升溫速率。但要注意爐體在加熱過(guò)程中真空度不能高于10-2torr,否則容易造成爐管的損壞 。
6″單溫區CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S是一款爐管內徑為6″的真空管式爐,可以在不同氣氛下,在Z大5″的基片上生長(cháng)多種薄膜。
8.5″單溫區CVD真空管式爐GSL-1100X-8.5-S是一款爐管外徑為8.5″ 的真空管式爐,可以在不同氣氛下,在Z大6″的基片上生長(cháng)多種薄膜。
8.5″帶滑動(dòng)法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR是三溫區滑軌真空管式爐,可通入混合氣體進(jìn)行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。本機可在不同氣氛下,在Z大6″的基片上生長(cháng)多種薄膜。
1100℃三溫區8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-III是三溫區大尺寸系列管式爐,石英管外徑為 8.5″,加熱管一端設有一對高真空不銹鋼法蘭,法蘭上配有機械壓力表和閥門(mén)。本機廣泛用于材料或化學(xué)實(shí)驗室的材料燒結或退火(在真空或惰性氣體環(huán)境下),是一款理想的退火、擴散、燒結設備。